進（jìn）口真空泵維修廠家表示真（zhēn）空係統的日常維護十分重要，可避免在出現故障時手足無措、並能盡快排除故障使設備正常運轉。東莞市91视频网站真空科技有限公司通過以下內（nèi）容對真空係統的主要部件維護作簡（jiǎn）單（dān）的介紹，同時，針對真（zhēn）空係統出現（xiàn）故障情（qíng）況分析其原因以及真空泵維修之真空係統（tǒng）故障排除的方法，也會整理出來提供給各位進（jìn）行參考一下的。

真空泵維修一：真空係統（tǒng）的主要部件（jiàn）及維護方法

1、旋轉（zhuǎn）泵：要定期檢查旋轉泵的油平麵，及（jí）時補充油（yóu）確保泵運轉（zhuǎn）正常。泵（bèng）皮帶用久後（hòu）容易打滑，可適量加些皮帶（dài）脂或稍調節皮帶鬆緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能好壞是決定電鏡獲得高（gāo）真（zhēn）空的關鍵，而影響擴散泵性能的主要原因是油質（zhì）的下降和油量的減少為了減少（shǎo）擴散泵油的揮發和碳化，平（píng）時儀器要定期抽真空，換（huàn）樣品時盡量（liàng）減少樣品（pǐn）室在大氣中停留的時間，關機後一般（bān）要十（shí）分鍾後才停冷卻水；有條件的（de）冷卻最好采用循環水箱（xiāng）和去（qù）離子水，以減少水垢的形成（chéng），保持（chí）冷卻性能；擴散（sàn）泵油在正常情況下（xià）可連續使用（yòng）十年。

真空泵維修（xiū）二：真空係統故障（zhàng）原因

（1）低真空（kōng）正常，高真空（kōng）上不去。儀（yí）器在正常使用中光柵突（tū）然出現閃爍，立即關高壓後控製麵板指示燈除 POWER亮，其（qí）餘都熄滅，真空（kōng）度下（xià）降。數分鍾後用控製麵板上的檢測器測真空度（dù）（ⅤAC）電流一直在025mA.未聽見（jiàn）高真空主（zhǔ）閥（fá）啟動的聲音。查K板（bǎn）PD、HVAC指示燈熄滅，抽真空程序不能正常進行。從故障現象看引起儀器不正常的原因是：擴散泵工作不正（zhèng）常；計算機真空控製（zhì）部分失控。

（2）儀器自動關機（jī），處於保護狀態（tài）：一開機 POWER指示燈亮，機械泵響（xiǎng）聲正常（cháng），15分鍾左右擴（kuò）散泵（bèng）（DP）指示燈亮，不久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指（zhǐ）示燈又亮，然後儀器自動（dòng）關機處於保護狀態。引起（qǐ）此故障的原因（yīn）有下列（liè）幾種情（qíng）況：a.主電（diàn）源（yuán）電壓不正常（cháng）；b.真空係統不正常； c.高壓電路故；d.計算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真空係統（tǒng）故障排（pái）除方法

（1）檢查發現進出口冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵有餘熱，估計是加熱器或加熱（rè）電路有問題（tí），測加熱電路正常，拔下加熱（rè）器插頭，測（cè）二端電阻為∞，說明擴散泵（bèng）加熱器損壞，換上加熱器真（zhēn）空係統恢複正常（cháng）。

（2）經檢（jiǎn）查發現（xiàn）故障是擴（kuò）散泵冷卻水溫度檢測器損壞造起，更換（huàn）溫度檢測器後（hòu）故障排出。

要（yào）保持真空係統的良好性能，必須保證（zhèng）係統的暢通清潔，首先，做好儀器的（de）使用狀（zhuàng）況和維（wéi）護記錄，每次開機都要注意查看儀器運轉是否正常。這就是真空泵維修之真空係統故障排除最佳的方法，而且（qiě）減少後續的人力物力財力。隻需要在使用的過程中花費一點點時間進行檢查，真空係統運行的時候就可以有（yǒu）一點保障了（le）。